- Bạn vui lòng tham khảo Thỏa Thuận Sử Dụng của Thư Viện Số
Tài liệu Thư viện số
- Tài liệu Nội sinh (134)
- Khoa Kỹ thuật Công nghệ ô tô (1002)
- Khoa Kỹ thuật Công nghệ Cơ khí (1627)
- Khoa Kỹ thuật Công nghệ Điện - Điện tử (1767)
- Khoa Khoa học SHƯD (1774)
- Khoa Công nghệ thông tin (1639)
- Khoa SPKT & XHNV (1679)
- Khoa Lý luận chính trị (375)
- Khoa Kinh tế - Luật (1776)
- Khoa học cơ bản (816)
- Trung tâm Ngoại ngữ (206)
- Trung tâm GDTC-GDQP (111)
- Luận văn - Báo cáo (236)
- Tài liệu đào tạo nghề (94)
- Tài liệu ngoại văn (162)
Danh mục TaiLieu.VN
- Mẫu Slide Powerpoint
- Luận Văn - Báo Cáo (346704)
- Kinh Doanh Marketing (67778)
- Kinh Tế - Quản Lý (50036)
- Tài Chính - Ngân Hàng (57809)
- Công Nghệ Thông Tin (143292)
- Tiếng Anh - Ngoại Ngữ (47261)
- Kỹ Thuật - Công Nghệ (137309)
- Khoa Học Tự Nhiên (110530)
- Khoa Học Xã Hội (85272)
- Văn Hoá - Nghệ Thuật (54491)
- Y Tế - Sức Khoẻ (177214)
- Nông - Lâm - Ngư (63475)
- Kỹ Năng Mềm (29084)
- Biểu Mẫu - Văn Bản (27862)
- Giải Trí - Thư Giãn (52535)
- Văn Bản Luật (199483)
- Tài Liệu Phổ Thông (409665)
- Trắc Nghiệm Online (213578)
- Trắc Nghiệm MBTI
- Trắc Nghiệm Holland
» Từ khóa: cam bien gia toc mems
Kết quả 1-1 trong khoảng 1
-
Bài báo này trình bày kết quả nghiên cứu thiết kế qui trình và bộ MASK chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở ba bậc tự do có kích thước thu nhỏ với việc áp dụng một kỹ thuật tiên tiến, là ăn mòn khô hoạt hóa sâu (DRIE), để tạo cấu trúc ba chiều phức tạp của linh kiện. Các đặc trưng lối ra của cảm biến sau chế tạo đã được đo đạc và...
5 p vlute 27/09/2017 529 1
Từ khóa: Cảm biến gia tốc, Cảm biến gia tốc MEMS, Chế tạo cảm biến gia tốc, Thiết kế cảm biến gia tốc, Đặc trưng của cảm biến, Nguyên lý biến đổi gia tốc
Đăng nhập
Bộ sưu tập số
Phát triển bởi Thư viện số
