- Bạn vui lòng tham khảo Thỏa Thuận Sử Dụng của Thư Viện Số
Tài liệu Thư viện số
Danh mục TaiLieu.VN
Bài báo này trình bày kết quả nghiên cứu thiết kế qui trình và bộ MASK chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở ba bậc tự do có kích thước thu nhỏ với việc áp dụng một kỹ thuật tiên tiến, là ăn mòn khô hoạt hóa sâu (DRIE), để tạo cấu trúc ba chiều phức tạp của linh kiện. Các đặc trưng lối ra của cảm biến sau chế tạo đã được đo đạc và...
5 p vlute 27/09/2017 523 1
Từ khóa: Cảm biến gia tốc, Cảm biến gia tốc MEMS, Chế tạo cảm biến gia tốc, Thiết kế cảm biến gia tốc, Đặc trưng của cảm biến, Nguyên lý biến đổi gia tốc