Thiết kế và chế tạo cảm biến gia tốc áp điện trở ba bậc tự do kích thứớc thu nhỏ trên cơ sở công nghệ vi cơ khối áp dụng kỹ thuật ăn mõn khô hoạt hóa sâu (DRIE)

Bài báo này trình bày kết quả nghiên cứu thiết kế qui trình và bộ MASK chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở ba bậc tự do có kích thước thu nhỏ với việc áp dụng một kỹ thuật tiên tiến, là ăn mòn khô hoạt hóa sâu (DRIE), để tạo cấu trúc ba chiều phức tạp của linh kiện. Các đặc trưng lối ra của cảm biến sau chế tạo đã được đo đạc và so sánh với các kết quả tính toán cho thấy cảm biến đã có những đáp ứng như mong đợi.

Từ khóa: Cảm biến gia tốc, Cảm biến gia tốc MEMS, Chế tạo cảm biến gia tốc, Thiết kế cảm biến gia tốc, Đặc trưng của cảm biến, Nguyên lý biến đổi gia tốc