Thiết kế chế tạo kính hiển vi điện tử quét hiệu ứng đường ngầm

Báo cáo này trình bày tổng thể các yêu cầu kỹ thuật và quy trình thiết kế, chế tạo từ công đoạn của thiết bị STM. Nội dung bao gồm kỹ thuật làm mũi, làm mẫu, thiết kế phần cứng cơ khí. Bộ vi chỉnh không gian 3 chiều bằng Piezo, hệ thống điện tử điều hành, thu thập và biến đổi tín hiệu, xử lý tín hiệu số, hệ thống phần mềm nhúng DSP và hệ điều hành tổng thể đo lường và xử lý kết quả dạng ảnh và số.

Từ khóa: Thiết kế chế tạo, Kính hiển vi điện tử, Hiệu ứng đường ngầm, Điện tử tự động, Kính hiển vi, Công nghệ điện tử