Mô phỏng cảm biến gia tốc áp điện trở ba bậc tự do

Trong bài báo này, cấu trúc cơ và các đặc trưng cơ bản của cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở ba bậc tự do sẽ được trình bày. Ở đây, hoạt động của cảm biến sẽ được mô phỏng bằng phương pháp phần tử hữu hạn (finite element method - FEM) thông qua phần mềm tính toán ứng dụng của phương pháp này là ANSYS.

Từ khóa: Cảm biến gia tốc, Điện trở ba bậc tự do, Mô phỏng cảm biến gia tốc, Mô hình cảm biến, Phân tích mode, Phân tích ứng suất